2009年7月，美国加州理工学院近日开发出仅有百万分之一米大小的纳米电子机械系统（NEMS）谐振器，可实时测定单个分子的质量。过去，科学家一直依靠现有质谱分析技术测量分子的质量，程序十分繁琐。加州理工学院的物理学、应用物理学和生物工程学教授兼该校纳米科学研究所主任迈克尔•L•若克斯及其同事经过十多年努力，开发出一种微型NEMS谐振器，有效简化了分子质量测量的程序，并使测量器械微型化。这种2微米长、100纳米宽的桥状谐振器，具有很高的振动频率，可有效充当质谱仪的“度量标尺”。若克斯教授指出，随着生命科学研究的深入，越来越需要进行大量的蛋白质组学分析，下一代用于相关研究的仪器，尤其是用于系统生物学研究的仪器，一定要能完成这样的任务。而半导体微电子加工工艺的发展，使这种仪器的研制成为可能。
